共用装置 Equipment

ナノサーチ顕微鏡(微細表面構造計測顕微鏡)

ナノサーチ顕微鏡(微細表面構造計測顕微鏡)

装置の特徴

広い視野をもつ光学顕微鏡と、レーザー顕微鏡(LSM)およびプローブ顕微鏡(SPM)を一体化させることにより、試料を同じ光軸上で数百倍から百万倍以上に拡大させ、見たいところを見失うことなく、ミリからナノの世界を自由に行き来して効率的に観察・測定することができます。

測定画面例

仕様

レーザー顕微鏡(LSM)部
光源:半導体レーザー(408±5nm)、0.9mW
検鏡方法:非共焦点レーザー、共焦点レーザー、レーザー微分干渉、明視野、暗視野
観察視野:2560μm~21μm
プローブ顕微鏡(SPM)部
光源:半導体レーザー(650nm)
変位検出系:光てこ式
最大走査範囲:XY方向30μm、Z方向4μm
サンプル
高さ上限:54.5mm、重量上限:10kg

料金

学外利用者
2,463円/時間
装置担当者による支援
受託測定:粗さ、段差計測等

連絡先:東北発 素材技術先導プロジェクト 超低摩擦技術領域
担当:笹森 TEL:022-795-4909

・お問い合わせアドレス

tribology @ niche.tohoku.ac.jp

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超低摩擦技術領域 紹介映像

超低摩擦技術領域 紹介映像

超低摩擦技術領域にについて機器設備などの紹介をふまえながらまとめたショートムービーです。