共用装置 Equipment

表面粗さ測定機

表面粗さ測定機

装置の特徴

X軸の分解能は50nm、Z1軸(検出器)の分解能は8μmレンジの場合では0.1nmであり高精度です。
また、X軸には高精度リニアスケール、Z2軸(コラム)にはABS(絶対原点)スケールを搭載しているので、上下、左右の動作を組み合わせた試料表面粗さの全自動測定が可能です。

仕様

測定範囲
X軸:100mm、Z1軸:800μm、80μm、8μm
分解能
検出器分解能
10nm(800μmレンジ)、1nm(80μmレンジ)、0.1nm(8μmレンジ)
X軸駆動部分解能:50nm
Z2軸駆動部移動量
300mm
サンプル
高さ上限:300mm、重量上限:15kg

料金

学外利用者
1,040円/時間
装置担当者による支援
受託測定:表面粗さ計測等

連絡先:東北発 素材技術先導プロジェクト 超低摩擦技術領域
担当:笹森 TEL:022-795-4909

・お問い合わせアドレス

tribology @ niche.tohoku.ac.jp

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超低摩擦技術領域 紹介映像

超低摩擦技術領域 紹介映像

超低摩擦技術領域にについて機器設備などの紹介をふまえながらまとめたショートムービーです。